固定式
Cosmos型氣體檢測裝置 PS-7
顯示幕（鬧鐘時）
感應器為單元式，更換方便
安裝轉換器單元時
特徵
- 具有感測器單元更換方法的固定式半導體材料氣體檢測單元
- 交付了經過校準的感測器單元，可以在現場更換，從而無需進行現場氣體校準。
- 相容NF 3檢測
- 相容於Modbus (RS-485/乙太網路) (PS-7-M) *乙太網路通訊支援PoE
- 符合CE和SEMI標準
目的
用於半導體工廠的半導體材料氣體洩漏檢測
◆便攜式（可更換感測器單元）半導體材料氣體偵測單元為XPS-7II
◆便攜式半導體材料氣體偵測儀XP-703DIII
◆將訊號佈線無線化的無線轉換器是WC-7L
規格
| 目標氣體 | 半導體材料氣體、氫氣、氧氣 |
|---|---|
| 檢測原理 | 半導體材料氣體：恆電位電解式氫氣：熱線式半導體式氧氣：原電池式 |
| 抽氣法 | 自動吸風式 |
| 檢測範圍 | 取決於規格 |
| 警報 | [警報設定值] 取決於規格 [警報方式] 紅色 LED 燈閃爍 LCD 螢幕 第一階段：ALARM1 第二階段：ALARM1、ALARM2 顯示 |
| 尺寸 | W62 x H124 x D143mm（不包括選件和突出部分） |
| 大量的 | 約1.0公斤 |
| 使用溫度和濕度範圍 | 0°C 至 40°C（無突變）、30 至 85%RH（無凝結） |
| 使用電源 | DC24V±10% |
| 能量消耗 | 約7W |
| 外部輸出 | ・氣體濃度模擬輸出DC4-20mA（與負電源共用） ・氣體警報接點（1級、2級）1a無電壓接點/自動返回 ・故障警報接點（集電極開路/自動返回） |