便攜的
半導體材料氣體檢測儀 XP-703DIII
存放在胸前口袋時
特徵
- 檢測半導體材料氣體的微小氣體洩漏。
- 警報聲（斷續聲）的快慢隨著氣體濃度的變化而逐漸變化，當濃度達到較高水平時，發出連續的聲音，便於辨識氣體洩漏的位置。
- 一台裝置可處理各種半導體材料氣體（胂、磷化氫、乙硼烷、矽烷、氫氣等）。
- 比傳統產品更小、更輕。機身小巧，可輕鬆握在手中。
- 配備液晶顯示屏，可輕鬆查看設備的狀態，例如電池電量和泵浦狀態。
- 正面、底部兩處設有警報燈，工作時輕鬆了解警報狀況。
- 相當於防護等級 IP22 (JIS C 0920)*。 *配備皮套時
- 符合CE標準
規格
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模型
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XP-703DIII
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待檢測氣體
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半導體材料氣體（砷化氫、磷化氫、乙硼烷、矽烷、氫氣）
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氣體採樣方式
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自動吸風式
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檢測原理
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熱線式 半導體式
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胂
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膦
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乙硼烷
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矽烷
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氫
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可檢測洩漏量
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2.53×10 -7
Pa· m3 /s |
1.52×10 -7 Pa· m3 /s |
1.01×10 -7 Pa· m3 /s |
2.53×10 -7 Pa· m3 /s |
5.07×10 -7 Pa· m3 /s |
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可檢測濃度
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0.5ppm
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0.3ppm | 0.2ppm | 0.5ppm | 1.0ppm |
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回應時間
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10秒內（濃度為可偵測濃度三倍的氣體的靈敏度設定[4]）
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顯示方式
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間歇性聲音和閃爍警報燈
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電源
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2 顆 AA 鹼性電池
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連續使用時間*1
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約12小時（AA鹼性電池）[常溫常濕下]
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防護等級*2
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相當於IP22
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工作溫度限制
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0℃～+40℃ 85%RH以下（無凝血）
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外形尺寸
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W38×H130×D32mm（不含突出部）
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大量的
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約190公克（含電池和皮套）
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標準配件
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皮套、排水過濾器、更換濾芯、配件、檢查氣體、手帶、2 顆 AA 鹼性電池等。
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*1 根據環境條件、使用條件、電池製造商等的不同，可能會有所不同。
*2 配備皮套時。